產品介紹：半導體清洗機請認準江蘇芯夢半導體設備有限公司，經營各類半導體清洗機，為國內半導體清洗機專業供應商，其中就包含FOUP清洗機。

FOUP清洗機是一種自動的離心清洗機，適用于所有類型的晶圓料盒（SmifFoup、Fosb、Cassette）,可以實現良好的清洗和干燥效果。裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內360°正反轉動。由DIWater的表面張力、機械力進行Particle清洗,離心＋熱風進行烘干等工藝組成，高效率、高質量完成foup的Particle清洗。

設備特點：

●多達十段清洗流程設定,工藝窗口更寬；

●含有自動執行狀態顯示，快速檢視狀態及工作時間；

●扭力偵測轉籃卡榫未定位保護，降低因人為導致設備損壞；

●主軸以伺服馬達控制達到穩定加減速及轉速數值化設定控制；

●旋轉式離心清洗，可正反調速旋轉，清理產品表面的附著殘留；

●以IR烘烤加速干燥時間,無任何水份殘留；

●采用流體(二流體選項)的清洗模式，能有效的去處微小的污染物；

●操作程序PLC控制可按作業需求自由調整，方便快捷，人性化設計。

應用范圍：

該設備主要用于半導體制程的Foup、Fosb、Cassette的Particle清洗。

江蘇芯夢是您身邊專業的晶圓盒清洗設備制造商！海南半自動FOSB清洗機出廠價

晶圓盒清洗機包括

FoupCleaner；

Xtrim-FC-M300/400高速型；

FouPCleaner；

Xtrim-FC-H300水平機

AutoFOUP/FOSBCleaningSystem

全自動FOUP/FOSB清洗機Xtrim-FC-A300

Xtrim-FC-M300Introduction：

產品介紹：

Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness；

在清洗機行業超25年經驗；

ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou；

在上海，蘇州有完善的服務和銷售團隊

Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners；

自主研發設計、生產、服務、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗；

SEMI S2認證；

中國澳門全自動花籃清洗機出廠價芯夢設備的功能和性能已經得到了廣大用戶的認可和好評！

5大系統結構：

純水加熱PWH、高壓噴淋HPS、熱風烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。

25組清洗：

工藝配方ProcessFormula，不同的Cassette靈活設定。

EN18822-H14：

高等級空氣過濾系統;超純水0.1um過濾，CDA0.03um過濾。

4寸~12寸全尺寸兼容，快速實現干進干出，30~60分鐘完成1次清洗工藝節拍，更大吞吐量。

2倉2基地：

蘇州+上海快速響應備件及現場技術服務壽命管理lifecycleManagement配備RFID數據讀取和上傳功能+SECSGEM200通訊系統，方便客戶的數據管理Cassette使用情況

FOUP的干燥步驟旨在將其表面的水分完全去除，以確保FOUP在后續的半導體制造過程中不會引入水分造成污染或其他問題。以下是一般的FOUP干燥步驟：靜置排水：在沖洗步驟之后，FOUP可能會經過一段時間的靜置，以讓水自然排出。FOUP通常被放置在傾斜或垂直的位置，以便水能夠從FOUP底部排出。噴氣干燥：為了加速干燥過程，FOUP清洗機通常配備了噴氣裝置。噴氣裝置會通過向FOUP表面噴射干燥的氣流，將水分蒸發。氣流可以是壓縮空氣或氮氣。噴氣干燥的時間和氣流的強度可以根據需要進行調整。熱風干燥：有些FOUP清洗機還配備了熱風干燥功能。在噴氣干燥之后，FOUP可能會進入一個熱風室，其中通過加熱空氣或氮氣來加速水分的蒸發。熱風干燥可以更徹底地去除FOUP表面的水分。真空干燥：另一種常見的干燥方法是利用真空環境。FOUP可能會進入一個真空腔室，其中通過創建負壓，使水分在低壓下蒸發。真空干燥可以提供更快速和徹底的干燥效果。氣流凈化：在干燥過程中，清洗機通常會通過高效過濾器和空氣凈化系統提供干凈的氣流環境。這有助于防止新的顆粒進入FOUP，并確保干燥過程中不會引入新的污染物。選擇我司設備，讓你的生產更加智能、自動化！

FOUP清洗機是一種清洗foup的設備，用于清洗和處理FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）。FOUP是半導體制造過程中存放晶圓的封閉式容器。FOUP清洗機通過自動化的清洗過程，去除FOUP內外的污染物，確保晶圓的高純度和可靠性。FOUP清洗機具備多種功能和處理能力。它能夠去除FOUP內的油脂、有機物、化學物質殘留和水分。清洗機采用不同的清洗方法和工藝參數，如噴淋清洗、超聲波清洗、高溫處理等，以適應不同類型的污染物，并確保清洗效果。清洗機具有高效、快速的特點。它能夠在短時間內完成清洗過程，提高生產效率。自動化控制系統確保清洗過程的精確執行，減少人為操作的誤差。FOUP清洗機注重安全性和可靠性。它采用高質量的材料和密封結構，確保清洗過程中不會對FOUP造成損害。安全控制系統和報警裝置保障操作人員的安全。清洗機還配備直觀的用戶界面和操作控制面板，使操作人員能夠輕松控制和監測清洗過程。清洗機還具備數據記錄和追溯功能，方便對清洗過程進行監控和分析。它可記錄清洗參數、時間和結果等信息，為質量控制我司設備采用先進技術，助你輕松提升生產效率！天津全自動FOUP清洗機維修價格

芯夢設備操作簡便，維護方便，降低你的生產成本！海南半自動FOSB清洗機出廠價

輔助功能和操作控制

觸摸屏安裝在前面一標準化

也可以通過安裝第二個觸摸屏在背面進行控制一選項

其他特征

工藝腔室內LED燈光照明

可安裝去靜電裝置和電陽率監測裝置選項

穩定、亞光不銹鋼籠子

材料的外殼一可選擇符合FM4910標準

PP材料的工藝腔室一可選擇符合FM4910標準

設備前面帶有滑動門一標準化為手動/可選擇自動

設備前面的滑動門在做維護時可完全打開

其他種類的花籃和片盒相適應的組件一選項圖形化的界面

易于操作和控制

10“觸摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口

海南半自動FOSB清洗機出廠價

江蘇芯夢半導體設備有限公司在同行業領域中，一直處在一個不斷銳意進取，不斷制造創新的市場高度，多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準，在江蘇省等地區的機械及行業設備中始終保持良好的商業口碑，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環境，富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新，勇于進取的無限潛力，江蘇芯夢半導體設備供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰的準備，要不畏困難，激流勇進，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！